Information depth and spatial resolution in BSE microtomography in SEMстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 16 ноября 2017 г.
Аннотация:Various methods of visualizing subsurface structures using the scanning electron microscope (SEM) in the backscattered electrons (BSE) mode are analyzed. The problems of image contrast and “in-depth” resolution of layered microstructures are discussed. The potentials of BSE microtomography, i.e. layer-by-layer formation of images of undersurface inhomogeneities are demonstrated by experiment.