|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
IMAGE FORMATION AND PROCESSING WITH AN SEM-MICROCOMPUTER SYSTEM IN THE AUTOMATED DEFECTOSCOPY OF INTEGRATED CIRCUITSстатья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 29 марта 2018 г.
- Авторы: Gostev A.V., Rau E.I., Spivak G.V.
- Журнал: Известия Российской академии наук. Серия физическая
- Том: 48
- Номер: 2
- Год издания: 1984
- Первая страница: 299
- Добавил в систему: Рау Эдуард Иванович