|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
SEM AND SIMS STUDY OF THE BURIED SIXNY LAYER FORMED IN SILICONстатья
- Авторы: Saad A.M., Frantskevich A.V., Frantskevich N.V., Fedotov A.K., Mazanik A.V., Rau E.I., Wegierek P., Kołtunowicz T., Zukowski P.
- Журнал: Vacuum
- Том: 83
- Год издания: 2009
- Издательство: Elsevier Ltd
- Местоположение издательства: London
- Добавил в систему: Рау Эдуард Иванович