|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Гибкая автоматизация в производстве изделий микроэлектроникитезисы доклада
- Авторы: Рахманкулов В.З., Славинский З.М., Михайлов А.М., Переслени С.А.
- Сборник: Современные вопросы физики и приложения. Всесоюзная конференция (Москва, 15—17 апреля 1984 г.): Тезисы докладов и сообщений
- Тезисы
- Год издания: 1984
- Место издания: Ин-т общей физики АН СССР Москва
- Первая страница: 57
- Добавил в систему: Осадченко Николай Владимирович