|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
ОСАЖДЕНИЕ МИКРОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ АЛМАЗНЫХ ПЛЕНОК В СВЧ ПЛАЗМЕ НА ПОДЛОЖКАХ С ПОЛИМЕРНЫМ ПРЕКУРСОРОМстатья
- Авторы: Седов В.С., Ральченко В.Г., Сизов А.И., Звукова Т.М., Власов И.И., Булычев Б.М., Конов В.И., Савин С.С., Совык Д.Н., Хомич А.А/
- Журнал: Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения
- Том: 10
- Номер: 1-2
- Год издания: 2010
- Первая страница: 79
- Последняя страница: 82
- Добавил в систему: Звукова Тамара Михайловна