|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Осаждение микрокристаллических алмазных пленок в СВЧ плазме на подложках с полимерным прекурсоромстатья
- Авторы: Седов В.С., Ральченко В.Г., Сизов А.И., Звукова Т.М., Власов И.И., Булычев Б.М., Конов В.И., Савин С.С., Совык Д.Н., Хомич А.А.
- Сборник: Сбрник трудов МИРЭА "Материалы VII Международной научно-технической конференции "INTERMATIC -2010".Москва, МИРЭА, 23-27 ноября 2010г
- Том: 2
- Год издания: 2010
- Место издания: МИРЭА Москва
- Первая страница: 79
- Последняя страница: 82
- Добавил в систему: Звукова Тамара Михайловна