ОСАЖДЕНИЕ МИКРОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ АЛМАЗНЫХ ПЛЕНОК В СВЧ ПЛАЗМЕ НА ПОДЛОЖКАХ С ПОЛИМЕРНЫМ ПРЕКУРСОРОМтезисы доклада
-
Авторы:
7 Седов В.С.,
Ральченко В.Г.,
Сизов А.И.,
Булычев Б.М.,
Конов В.И.,
Савин С.С.,
Звукова Т.М.,
Хомич А.А.
-
Сборник:
Седьмая международная конференция "Углерод. Фундаментальные проблемы науки, материаловедение, технология."
-
Тезисы
-
Год издания:
2010
-
Место издания:
Издательство Владимирского университета РФ, г. Владимир
-
Первая страница:
340
-
Последняя страница:
342
-
Добавил в систему:
Звукова Тамара Михайловна