Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Геликонный источник плазмы
статья
Статья опубликована в журнале из списка RSCI Web of Science
Статья опубликована в журнале из перечня ВАК
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 24 января 2020 г.
Авторы:
Брагинский О.В., Васильева А.Н.,
Ковалев А.С.
Журнал:
Микроэлектроника
Том:
29
Номер:
6
Год издания:
2000
Издательство:
Общество с ограниченной ответственностью Интеграция: Образование и Наука
Местоположение издательства:
Москва
Первая страница:
410
Последняя страница:
421
Добавил в систему:
Васильева Анна Николаевна