Промышленная технология прецизионного управления характеристиками кремниевых высоковольтных тиристоров на базе облучения ускоренными электронамитезисы докладаТезисы
Аннотация:Рассматривается технология обеспечения малого разброса статических и динамических параметров силовых высоковольтных тиристоров, адаптированных для последовательного и параллельного включения в линиях электропередач и преобразователях. Представлены результаты внедрения нового метода контроля режимов электронного облучения, дающего возможность прецизионно контролировать характеристики тиристоров. Метод контроля дозы заключается в измерении деградации времени жизни в тестовой структуре во время процесса облучения, а прецизионность метода определяется точностью измерения характеристик тиристора до облучения и диода-спутника во время облучения.