|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Simulation of resist heating using TEMPTATION software with different models of electron-beam energy depositionстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 9 января 2018 г.
- Автор: Kuzmin Igor Y.
- Журнал: Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering
- Том: 3676
- Год издания: 1999
- Издательство: SPIE, the International Society for Optical Engineering
- Местоположение издательства: Bellingham, WA, United States
- Первая страница: 536
- Последняя страница: 542
- Добавил в систему: Кузьмин Игорь Юрьевич