Исследование топографии кремниевых и кремний/германиевых наноструктур методами комбинированной сканирующей туннельной и атомно-силовой микроскопиитезисы доклада
Место издания:Нижегородский государственный университет Россия, г. Нижний Новгород
Первая страница:223
Последняя страница:224
Аннотация:В работе представлен анализ возможностей сканирующей туннельной микроскопии (STM) и бесконтактной атомно-силовой микроскопии (NC-AFM) для исследования электрофизических свойств твердотельных наноструктур на основе кремния. В частности, получено атомарное разрешение для поверхности Si(111)7x7 методом комбинированной STM-NC-AFM микроскопии и модуляционной STM микроскопии, что позволяет исследовать топографию неоднородных об-разцов с различной локальной проводимостью и выполнять туннельную спектроскопию с высоким пространственным и энергетическим разрешением.