Место издания:Российский химико-технологический университет имени Д. И. Менделеева Москва
Объём:
96 страниц
(5,6 печатных листов)
ISBN:978-5-7237-1981-1
Тираж:200 экз.
Учебное пособие без грифа
Аннотация:Содержание учебного пособия направлено на знакомство с вакуумным оборудованием, а именно со средствами откачки. Рассмотрены механические и физико-химические методы получения вакуума, конструкции различных насосов. Приведены характеристики как зарубежных, так и отечественных вакуумных откачных систем.
Предназначено для студентов профиля «Химическая технология материалов и приборов электронной техники и наноэлектроники» направления подготовки 18.03.01 «Химическая технология» и для магистрантов и аспирантов в области электроники и материаловедения