Место издания:Российский химико-технологический университет имени Д. И. Менделеева Издательский центр Москва
Объём:
104 страниц
(6,1 печатных листов)
ISBN:978-5-7237-1977-4
Тираж:200 экз.
Учебное пособие без грифа
Аннотация:Пособие знакомит читателя с понятием вакуума и его ролью в современном мире, теоретическими основами физики газов и вакуумной технологии. Рассматриваются средства измерения вакуума с учётом современных технологических решений. Для закрепления теоретического материала и самопроверки содержит вопросы по главам, а также некоторые задачи по расчёту вакуумных систем.Предназначено для студентов профиля «Химическая технология материалов и приборов электронной техники и наноэлектроники» направления подготовки 18.03.01 «Химическая технология» и для магистрантов и аспирантов в области электроники и материаловедения.