|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Физические основы ионно-лучевых технологий. II. Распыление поверхностей твердых тел: Учебное пособиекнига
- Авторы: Борисов А.М., Машкова Е.С.
- Год издания: 2013
- Место издания: МАКС Пресс Москва
- Объём: 196 страниц
- ISBN: 978-5-317-04447-3
- Учебное пособие, имеющее гриф
- Учебное пособие без грифа
- Гриф УМО/НМС
- Аннотация: В пособии приведены основные положения физики взаимодействия ионов с материалами, теории и закономерности распыления материалов и практические применения этого явления. Пособие предназначено для студентов и аспирантов, специализирующихся в области физической электроники и ионно-плазменных технологий, может быть также полезным для специалистов и инженеров, связанных с вопросами взаимодействия плазмы и ионных пучков с поверхностью, разработкой методов обработки материалов потоками заряженных частиц в различных областях науки и техники, в том числе в задачах ядерного, термоядерного и аэрокосмического материаловедения.
- Добавил в систему: Машкова Евгения Сергеевна