ИСТИНА

Исследован образец медного покрытия на диэлектрической подложке методами рентгенофазового анализа, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, атомной силовой микроскопии. Рентгенофазовый анализ показал, что в покрытие присутствует одна фаза чистой меди. На поверхности присутствует тонкий слой (1 нм) СuO, приповерхностный слой окислен до Cu2O. Углеводородные загрязнения на поверхности представляют из себя адсорбированный слой толщиной не более 10 нм. Исследования топографии поверхности показали, что имеются участки с разным размером зерна. Участки с более крупным зерном имеют большую высоту и выглядят на оптических изображениях как светлые пятна. Появление более крупных зерен возможно в результате рекристаллизации в процессе нанесения покрытия, либо в процессе окисления.