ИСТИНА

Объектом исследования являются аксиально-симметричные анализаторы энергий вторичных электронов.Цель работы - расчет светосильных аксиально-симметричных анализаторов энергий вторичных электронов с высокими электронно-оптическими параметрами для реализации методов электронной спектроскопии; обоснование возможности использования новых анализаторов в составе аналитического модуля вакуумного технологического оборудования для расширения его функциональных возможностей. Методы исследования. При расчетах использовались приближенно-аналитический метод и программа, основанная на численных методах расчета. Результаты работы: Получены основные формулы, алгоритм решения интегро-дифференциального уравнения движения заряженных частиц в мультипольно-цилиндрических полях. Проведены расчеты и моделирование электронно-оптических схем гексапольно-цилиндрических энергоанализаторов с различными весовыми вкладами цилиндрического поля и кругового гексаполя, определены их электронно-оптические характеристики. Рассчитан светосильный аксиально-симметричный длиннофокусный анализатор для оже-микрозонда. Новизна работы. Использование неоднородных вдоль оси симметрии электростатических полей для создания систем энергоанализа с высокими электронно-оптическими параметрами. Область применения: физическая электроника, микро- и наноэлектроника, корпускулярная оптика, электронная спектроскопия.