|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
РАЗРАБОТКА БАЗОВОЙ ТЕХНОЛОГИИ ФОРМИРОВАНИЯ МНОГОСЛОЙНОЙ РАЗВОДКИ (7-8 УРОВНЕЙ) СВЕРХБОЛЬШИХ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ НА ОСНОВЕ AL И CUотчет
- Авторы: Красников Г.Я., Гущин О.П., Валеев А.С., Данила А.В., Гвоздев В.А., Кузнецов П.И., Смирнов Е.А., Чамов А.А., Данилкин Е.В., Хрусталёв В.А., Морозов Е.Н., Воротилов К.А., Васильев В.А., Бокарев В.П., Кругликов С.С., Тураев Д.Ю.
- Организация: ФГБОУ ВО «Российский химико-технологический университет имени Д.И. Менделеева»
- Подразделение: Кафедра технологии неорганических веществ и электрохимических процессов
- Номер: 10411.1006800.11.049
- Год выпуска: 2011
- Добавил в систему: Кругликов Сергей Сергеевич