ИСТИНА

Производство покрытий из соединений с высокой температурой плавления и кристаллической структурой обычно требует высоких температур. Из-за этого сложно наносить такие покрытия на легкоплавкие металлы, стекло или пластики [1]. А это серьезная проблема для создания компонентов для оптических приборов и электроприводов. Надежная технология необходима для создания тонких и толстых пленок для оптических сканеров, микромоторов и микронасосов [2], сканеров для туннельной и атомно-силовой микроскопии [3], топливных элементов, микроманипуляторов [4], радиочастотных компонентов и т.д. Для этих целей необходима реализация высоких скоростей напыления и кристаллическая структура покрытий при относительно низкой температуре. Нанесение тонких или толстых пленок традиционными методами (например термическим напылением) на низкие температуры подложки приводит к тому, что они обычно имеют слабую адгезию и столбчатую пористую структуру [1]. Также такими методами сложно произвести пленки, состоящие из нескольких компонентов, и процесс производства может быть времязатратным и дорогим [1]. Метод аэрозольного напыления позволяет наносить тонкие и толстые пленки. Он не требует высокой температуры для высокой адгезии покрытия к подложке и позволяет наносить покрытия из тугоплавкой керамики с кристаллической структурой при комнатной температуре подложки [1], [5]. Цель работы - сбор экспериментальной установки для нанесения пленок на ограниченной области на подложки из никеля и Ni-Cr-W сплава, получение опытных образцов и исследование структуры и элементного состава покрытий методами растровой электронной микроскопии. [1] J.Akedo: Room temperature impact consolidation (RTIC) of fine ceramic powder by aerosol deposition method and applications to microdevices, J. Therm. Spray Technol., 17, 181 – 198, (2008), doi: 10.1007/s11666-008-9163-7. [2] P. Muralt, A. Kholkin, M. Kohli and others: Fabrication and Characterization of PZT Thin Films for Micromotors, Integr. Ferroelectrics, 1995, 11, p 213-220. [3] Qin C. et al. A Novel Atomic Force Microscope with Multi-Mode Scanner //Journal of Physics: Conference Series. – IOP Publishing, 2016. – Т. 680. – №. 1. – С. 012009. [4] T.-A. Massood: MICROACTUATORS: Electrical, Magnetic, Thermal, Optical, Mechanical, Chemical and Smart Structures, H.L. Tuller, Series Ed., Kluwer Academic Publishers, 1998. [5] D. Hanft, M. Schubert, J. Exner and others: An overview of the aerosol deposition method: process fundamentals and new trends in the materials applications, Journal of Ceramic Science and Technology. Impact Factor: 0.54, doi: 10.4416/JCST2015-00018.