Исследования в области физики плазмы и физики газового разряда в приложении к технологии микроэлектроники
Ключевые слова: Физика плазмы. Физика газового разряда. Технология микроэлектроники / Plasma physics. Gas discharge physics. Microelectronic technology.
Физика плазмы
Plasma physics