Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
International Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2014". Book of abstracts
сборник
Год издания:
2014
Место издания:
Moscow-Zvenigorod, Russia
Сборник тезисов
Добавил в систему:
Купреенко Степан Юрьевич
Статьи, опубликованные в сборнике
2014
Experimental and computational thickness determination of ultra-thin surface films using backscattered electrons spectra in SEM
Kupreenko S.
,
Orlikovsky N.
,
Rau E.
,
Tagachenkov A.
,
Tatarintsev A.
в сборнике
International Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2014". Book of abstracts
, место издания
Moscow-Zvenigorod, Russia
, тезисы, с. P1-30-P1-30
2014
Impact of structural changes in e-beam negative resist hydrogen silsesquioxane (HSQ) to ecth-resistance at different doses of exposure
Ivanenko I.P.
,
Kalnov V.A.
,
Miakonkikh A.V.
,
Orlikovsky N.A.
,
Tatarintsev A.A.
в сборнике
International Conference "Micro- and Nanoelectronics - 2014". Book of abstracts
, место издания
Moscow-Zvenigorod, Russia
, тезисы, с. O1-13