Тезисы докладов XIX Российского симпозиума по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твёрдых тел (1-5 июня 2015 г.,г.Черноголовка Московской обл., ИПТМ РАН), Черноголовкасборник
Год издания:2015
Место издания:г.Черноголовка Московской обл., Институт проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов РАН