Взатмодействие плазмы с поверхностьюсборник
Статьи, опубликованные в сборнике
-
-
2019
"Изменение морфологии и светопропускания кварцевых окон в чистящем ВЧ разряде в смеси D2/N2"
-
Городецкий А.Е.,
Буховец В.Л.,
Маркин А.В.,
Золотаревский В.И.,
Залавутдинов Р.Х.,
Захаров А.П.,
Войтицкий В.Л.,
Дмитриев А.М.,
Раздобарин А.Г.,
Мухин Е.Е.
-
в сборнике Взатмодействие плазмы с поверхностью, серия Материалы XXII конференции, издательство НИЯУ МИФИ (Москва), с. 43-46