Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
-
сборник
Год издания:
2014
Том:
9440
Добавил в систему:
Руденко Константин Васильевич
Статьи, опубликованные в сборнике
2014
Carbon and fluorine co-implantation for boron diffusion suppression in extremely ultra shallow junctions
Miakonkikh A.V.
, Rogozhin A.E., Rudakov V.I.,
Rudenko K.V.
, Lukichev V.F.
в сборнике
-
, том 9440
DOI
2014
Monte Carlo simulation of boron doping profile of fin and trench structures by plasma immersion ion implantation
Shahsenov I.S.
,
Miakonkikh A.V.
,
Rudenko K.V.
в сборнике
-
, том 9440
DOI