Область научных интересов

Не указана.

Образование

  • д.ф.-м.н. Диагностика плазменных технологических процессов микро- и наноэлектроники

Результаты деятельности

Всего: 22 статьи, 4 тезисов докладов, 1 диссертация, 1 доклад на конференции, 1 членство в редколлегии сборника, 2 членства в диссертационных советах.

Количество цитирований статей в журналах по данным Web of Science: 46, Scopus: 91

Просмотреть публикации »

Соавторы: Мяконьких А.В., Татаринцев А.А., Лукичев В.Ф., Резванов А.А., Baklanov M.R., Bogoyavlenskaya E.A., Chesnokov J.M., Gornev E.S., Kalnov V.A., Kuzmenko V.O., Lelekov E.T., Myakon’Kikh A.V., Myakon’kich A.V., ORLIKOVSKII A., Ovcharov V.V., Shahsenov I.S., Zhanaev E.D., Грушин Б.А., Рогожин А.Е., Рогожин А.Е., Шишлянников А.В.