Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Bulletin of the American Physical Society, 63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas, October4-8 2010, Paris, France
сборник
Год издания:
2010
Серия:
7
Том:
55
Место издания:
Paris, France
Добавил в систему:
Лопаев Дмитрий Викторович
Статьи, опубликованные в сборнике
2010
In-Line Plasma Cleaning of EUV Multilayer Mirrors
Malykhin E.M.
,
Braginsky O.V.
,
Kovalev A.S.
,
Lopaev D.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Vasilieva A.N.
,
Zyryanov S.M.
,
Koshelev K.N.
,
Krivtsun V.M.
,
Yakushev O.F.
в сборнике
Bulletin of the American Physical Society, 63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas, October4-8 2010, Paris, France
, серия
7
, место издания
Paris, France
, том 55