Proceedings of the International conference «Micro- and nanoelectronics-2003, Editors Valiev K.A., Orlikovskiy A.Aсборник
Статьи, опубликованные в сборнике
-
-
2003
Microwave discharge on external surface of quartz plate
-
Shibkov V.,
Chernikov V.,
Dvinin S.,
Ershov A.,
Karachev A.,
Shibkova L.,
et al.
-
в сборнике Proceedings of the International conference «Micro- and nanoelectronics-2003, Editors Valiev K.A., Orlikovskiy A.A, место издания FTIAN Zvenigorod, с. 47-54
DOI