Proceedings of the International conference «Micro- and nanoelectronics-2003, Editors Valiev K.A., Orlikovskiy A.Aсборник

Статьи, опубликованные в сборнике

---

• 
  • 2003 Microwave discharge on external surface of quartz plate
  • Shibkov V., Chernikov V., Dvinin S., Ershov A., Karachev A., Shibkova L., et al.
  • в сборнике Proceedings of the International conference «Micro- and nanoelectronics-2003, Editors Valiev K.A., Orlikovskiy A.A, место издания FTIAN Zvenigorod, с. 47-54 DOI