Тонкие пленки в электронике. Материалы 7-го межд. симпозиумасборник

Статьи, опубликованные в сборнике

---

• • 1996 Исследование роста алмазных пленок в разряде, контролируемом электронным пучком
  • Кашко Д.А., Паль А.Ф., Рахимов А.Т., Серов А.О., Суетин Н.В.
  • в сборнике Тонкие пленки в электронике. Материалы 7-го межд. симпозиума, место издания Москва-Йошкар-Ола, с. 33-38
• • 1996 Осаждение алмазных пленок в разряде постоянного тока на установке с замкнутым газовым контуром
  • Кашко Д.А., Паль А.Ф., Рахимов А.Т., Серов А.О., Суетин Н.В., Филиппов А.В.
  • в сборнике Тонкие пленки в электронике. Материалы 7-го межд. симпозиума, место издания Москва-Йошкар-Ола, с. 19-32