International Electron Devices Meeting 1998. Technical Digest (Cat. No.98CH36217)сборник
Статьи, опубликованные в сборнике
-
-
1998
Progress toward 10 nm CMOS devices
-
Timp G.,
Bourdelle K.K.,
Bower J.E.,
Baumann F.H.,
Boone T.,
Cirelli R.,
Evans-Lutterodt K.,
Garno J.,
Ghetti A.,
Gossmann H.,
Green M.,
Jacobson D.,
Kim Y.,
Kleiman R.,
Klemens F.,
Kornlit A.,
Lochstampfor C.,
Mansfield W.,
Moccio S.,
Muller D.A.,
Ocola I.E.
-
в сборнике International Electron Devices Meeting 1998. Technical Digest (Cat. No.98CH36217), место издания IEEE
DOI