Сборник научных трудов. ХХI конференция «Взаимодействие плазмы с поверхностью», 24-25 января 2018 гсборник
Статьи, опубликованные в сборнике
-
-
2018
Исследование стойкости диагностических окон в условиях очистки в ВЧ разряде в D2, Ne и их смесях
-
Буховец В.Л.,
Городецкий А.Е.,
Залавутдинов Р.Х.,
Маркин А.В.,
Золотаревский В.И.,
Казанский Л.П.,
Рыбкина Т.В.,
Дмитриев А.М.,
Раздобарин А.Г.,
Мухин Е.Е.
-
в сборнике Сборник научных трудов. ХХI конференция «Взаимодействие плазмы с поверхностью», 24-25 января 2018 г, с. 31-32
-