PESM 2013 (14 - 15 March 2013, Leuven Belgium) - Конференция | ИСТИНА – Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных

PESM 2013 (14 - 15 March 2013, Leuven Belgium)Конференция

Охват: Международная
Даты проведения: 14-15 марта 2013
Место проведения: Лёвен, Belgium
Организатор:
IMEC Interuniversity Microelectronics Center Belgium
Число участников: 70
Число участников из МГУ: 2
Число докладчиков: 35
Веб-сайт: http://pesm-conference.org/
Добавил в систему: Прошина Ольга Вячеславовна

Доклады:

2013 1-D model of RF CCP discharge in Ar/CF4/CF3I gas mixtures (Устный)
Авторы: Olga Proshina, Mihail Baklanov, Tatyana Rakhimova

2013 1D model of OSG low-k films modification by EUV/VUV emission (Устный)
Авторы: Rakhimov A.T., Mankelevich Yu A., Rakhimova T.V., Lopaev D.V., Zyryanov S.M., Baklanov M.R., Vasil'eva A.N., Proshina O.V., Braginsky O.V., Kurchikov K., Kovalev A.S.