PESM 2013 (14 - 15 March 2013, Leuven Belgium)Конференция
-
Охват:
Международная
-
Даты проведения:
14-15 марта 2013
-
Место проведения:
Лёвен, Belgium
-
Организатор:
IMEC Interuniversity Microelectronics Center Belgium
-
Число участников:
70
-
Число участников из МГУ:
2
-
Число докладчиков:
35
-
Веб-сайт:
http://pesm-conference.org/
-
Добавил в систему:
Прошина Ольга Вячеславовна
Доклады:
-
2013
1D model of OSG low-k films modification by EUV/VUV emission
(Устный)
-
Авторы:
Rakhimov A.T.,
Mankelevich Yu A.,
Rakhimova T.V.,
Lopaev D.V.,
Zyryanov S.M.,
Baklanov M.R.,
Vasil'eva A.N.,
Proshina O.V.,
Braginsky O.V.,
Kurchikov K.,
Kovalev A.S.