Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Электронно-лучевая литография на оборудовании Raith GmbH: от идеи до реализации, Научно-практический семинар
конференция
Даты проведения:
2012
Место проведения:
Президентский зал РАН, Москва, Россия, 28 мая, Russia
Добавил в систему:
Преснов Денис Евгеньевич
Доклады:
2012
Методы изготовления наноструктур на основе Кремния-на-Изоляторе
Авторы:
Крупенин В.А.
,
Амитонов С.В.
,
Преснов Д.Е.