ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИПМех РАН |
||
Предложен усовершенствованный метод трехмерной (3D) реконструкции и визуализации поверхностного рельефа микроструктур в сканирующей электронной микроскопии (СЭМ). Новая детекторная система отраженных электронов (ОЭ) повышает в разы градиентную чувствительность, контраст и отношение сигнала к шуму.