Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Диссертационный совет К063.68.02 при МИЭМ
None
Шифр диссертационного совета:
К063.68.02
Организация:
МИЭМ
Защищенные диссертации
сортировать по фамилии диссертанта
сортировать по году защиты
1985
Моделирование тепловых эффектов электронно-лучевого экспонирования фотошаблонов больших интегральных схем.
Кандидатская диссертация по специальности 05.12.18 (техн. науки)
Автор:
Грачев Е.А.
, к.т.н., доц., МГУ имени М.В. Ломоносова
Научные руководители:
Арменский Е.В.
,
Кабанов А.Н.
Защищена в совете
К063.68.02
при МИЭМ