Диагностика плазменных технологических процессов микро- и наноэлектроникидиссертация
-
Автор:
Руденко Константин Васильевич
-
Дата защиты:
20 декабря 2007 года
-
Шифр диссертационного совета:
Д 002.204.01
-
Организация:
Физико-технологический институт РАН
-
Область знаний:
Физика и математика
-
Специальность:
05.27.01 - Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах
-
Тип диссертации:
Докторская
-
Добавил в систему:
Руденко Константин Васильевич