|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Исследование процессов в плазме высокочастотных емкостных разрядов низкого давления, возбуждаемых на одной и двух частотахдиссертация
- Научный руководитель: Рахимова Т.В.
- Автор: Волошин Д.Г.
- Дата защиты: 27 апреля 2011 года в 15:00
- Шифр диссертационного совета: Д 501.001.45
- Организация: МГУ имени М.В. Ломоносова
- Область знаний: Физика и математика
- Специальность: 01.04.08 - Физика плазмы
- Тип диссертации: Кандидатская
-
Аннотация:
Диссертация посвящена теоретическому изучению самоорганизации плазмы высокочастотных емкостных разрядов, а также исследованию сечений рассеяния электронов на молекулах фторуглеводородов и реакций нейтральной химии в смесях Ar/CF4, Ar/CHF3. Для данного исследования автором был разработан и использован ряд численных моделей движения заряженных частиц в плазме. Исследование процессов в плазме одночастотных и двухчастотных емкостных разрядов производилось с помощью самосогласованной модели на основе метода «Частиц в Ячейке» с Монте-Карло столкновениями.
- Добавил в систему: Рахимова Татьяна Викторовна