|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
The microstructure of Si surface layers after He+ Ar +plasma immersion ion implantationстатья
- Авторы: Chesnokov J.M., Vasiliev A.L., Lukichev V.F., Rudenko K.V.
- Журнал: Journal of Physics: Conference Series
- Том: 471
- Номер: 1
- Год издания: 2013
- Издательство: IOP Publishing
- Местоположение издательства: [Bristol, UK], England
- DOI: 10.1088/1742-6596/471/1/012049
- Добавил в систему: Руденко Константин Васильевич