Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Production and Loss of CF2 and CF Radicals at the Polymerization in CF4 Plasma
статья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 мая 2015 г.
Авторы:
Ivanov V.V.
,
Klopovskiy K.S.
,
Lopaev D.V.
,
Proshina O.V.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
,
Rulev G.B.
Сборник:
Proceedings of SPIE: Selected research papers on “Spectroscopy of Non-equilibrium Plasma at Elevated Pressures” ed. by Vladimir N. Ochkin
Том:
4460
Год издания:
2002
Первая страница:
74
Последняя страница:
89
DOI:
10.1117/12.459417
Добавил в систему:
Лопаев Дмитрий Викторович