Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Low Pressure RF Discharge in Electronegative Gases for Plasma Processing
тезисы доклада
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 мая 2015 г.
Авторы:
Feoktistov V.A.
,
Lopaev D.V.
,
Klopovsky K.S.
,
Popov A.M.
,
Popovicheva O.B.
,
Rakhimov A.T.
,
Rakhimova T.V.
Сборник:
IVC-12 and ICSS-8, Book of Abstracts
Тезисы
Год издания:
1992
Место издания:
The Hague, The Netherlands
Первая страница:
174
Добавил в систему:
Лопаев Дмитрий Викторович