Effect of terminal methyl group concentration on critical properties and plasma resistance of organosilicate low-k dielectricsстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 7 июля 2020 г.
Авторы:Rezvanov Askar A.,
Miakonkikh Andrey V.,
Seregin Dmitry S.,
Vishnevskiy Alexey S.,
Vorotilov Konstantin A.,
Rudenko Konstantin V.,
Baklanov Mikhail R.