|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Effect of terminal methyl group concentration on critical properties and plasma resistance of organosilicate low-k dielectricsстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 7 июля 2020 г.
- Авторы: Rezvanov Askar A., Miakonkikh Andrey V., Seregin Dmitry S., Vishnevskiy Alexey S., Vorotilov Konstantin A., Rudenko Konstantin V., Baklanov Mikhail R.
- Журнал: Journal of Vacuum Science and Technology A
- Том: 38
- Номер: 3
- Год издания: 2020
- Издательство: AIP Publishing
- Местоположение издательства: United States
- Первая страница: 033005
- DOI: 10.1116/1.5143417
- Добавил в систему: Карташов Игорь Николаевич