Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Роль малоугольного приближения в исследовании процесса рассеяния электронов литографических энергий при изготовлении БИС. Депонированная рукопись 3-7685
статья
Авторы:
Грачев Е.А.
,
Кузьмин И.Ю.
, и др.
Журнал:
НИИЭИР, сб. рефератов НИОКР, серия РТ, ВИМИ
Номер:
26
Год издания:
1985
Первая страница:
1
Последняя страница:
12
Добавил в систему:
Грачев Евгений Александрович