|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Formation of Si nanocrystals in LP CVD semi-insulating polycrystalline silicon filmsстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Web of Science,
Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 4 марта 2022 г.
- Авторы: Domashevskaya E.P., Terekhov V.A., Parinova E.V., Sinelnikov A.A., Kharin A.N., Prizhimov A.S., Turishchev S.Yu
- Журнал: Materials Science and Engineering B
- Том: 259
- Номер: 21
- Год издания: 2020
- Первая страница: 114575
- DOI: 10.1016/j.mseb.2020.114575
- Добавил в систему: Сиротина Анна Петровна