|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Analysis of Formulas for Calculating the Main Characteristics of Backscattered Electrons and How They Compare to Experimental Resultsстатья
Информация о цитировании статьи получена из
Scopus
Статья опубликована в журнале из списка Web of Science и/или Scopus
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 мая 2015 г.
- Авторы: Rau E.I., Ditsman S.A., Zaitsev S.V., Lermontov N.V., Luk’yanov A.E., Kupreenko S.Yu
- Журнал: Bulletin of the Russian Academy of Sciences: Physics
- Том: 77
- Номер: 8
- Год издания: 2013
- Издательство: Allerton Press Inc.
- Местоположение издательства: United States
- Первая страница: 951
- Последняя страница: 958
- DOI: 10.3103/S1062873813080364
- Аннотация: Semiempirical relations for the following basic parameters of backscattered electrons in a scanning electron microscope are derived: reflection coefficient; average and most probable energies; energy spectra; and energy of backscattered electrons, depending on the angle of exit. The energy dependence is shown to have a maximum in the angular region of backscattered electrons Θ = 65°–75°.
- Добавил в систему: Рау Эдуард Иванович
Прикрепленные файлы
| № | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
|---|---|---|---|---|---|
| 1. | Полный текст | Статья | Bulletin_of_the_Russian_Academy_of_Sciences._Physics_2013_V… | 444,3 КБ | 6 сентября 2016 [KupreenkoSU] |