Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИПМех РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Осаждение алмазных пленок в разряде постоянного тока на установке с замкнутым газовым контуром
статья
Авторы:
Кашко Д.А.
,
Паль А.Ф.
,
Рахимов А.Т.
,
Серов А.О.
,
Суетин Н.В.
,
Филиппов А.В.
Сборник:
Тонкие пленки в электронике. Материалы 7-го межд. симпозиума
Год издания:
1996
Место издания:
Москва-Йошкар-Ола
Первая страница:
19
Последняя страница:
32
Добавил в систему:
Серов Александр Олегович