|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Основные аспекты формирования металлизации в субдесятинанометровой технологии изготовления интегральных схемстатья
- Авторы: Амиров И.И., Куприянов А.Н., Наумов В.В., Изюмов М.О., Волошин Д.Г., Кропоткин А.Н., Лопаев Д.В., Рахимова Т.В.
- Журнал: Вестник Российского фонда фундаментальных исследований
- Том: 118
- Год издания: 2023
- Издательство: РФФИ
- Местоположение издательства: М.
- Первая страница: 63
- Последняя страница: 77
- DOI: 10.22204/2410-4639-2023-118-02-63-76
- Аннотация: Приведены основные результаты теоретического и экспериментального исследования параметров плазмы Ar/Cl2 и Ar/Cl2/О2в реакторе атомно-слоевого травления, исследования травления пленок Мо, W, Ru в хлорсодержащей плазме с in situконтролем непрерывного процесса травления и циклического атомно-слоевого травления пленки W во фторсодержащейплазме. Результаты расчета концентрации ионов, полученных с использованием разработанной двумерной гидродинамическоймодели хлорсодержащей плазмы ВЧИ разряда находятся в хорошем согласии с экспериментальными данными. Обнаруженосильное увеличение скорости травления Мо, W в хлорсодержащей плазме с увеличением энергии ионов. Показано, чтоиспользование in situ рефлектометрического метода определения скорости травления дает возможность контролироватьпроцесс травления на отдельных стадиях циклического атомно-слоевого травления металлов. Это способствует болеебыстрой его разработке. Кратко обсуждается механизм травления металлов в хлорсодержащей плазме.
- Добавил в систему: Волошин Дмитрий Григорьевич