|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИПМех РАН |
||
Technique for investigation of the shape changes of wafers and thin-film membranes by using geomorphometric approachesстатья
- Авторы: Dedkova A.A., Florinsky I.V., Djuzhev N.A.
- Журнал: Technical Physics
- Том: 69
- Номер: 2
- Год издания: 2024
- Издательство: Maik Nauka/Interperiodica Publishing
- Местоположение издательства: Russian Federation
- Первая страница: 181
- Последняя страница: 191
- DOI: 10.1134/s1063784224010080
- Добавил в систему: Флоринский Игорь Васильевич