The Spatial Distribution of Radicals in the Dual Frequency (1.76 MHz /81 MHz) Capacitive Discharge in CHF3/Ar and CF4/Ar Mixturesстатья
Дата последнего поиска статьи во внешних источниках: 28 мая 2015 г.
-
Авторы:
Braginsky O.V.,
Klopovskiy K.S.,
Kovalev A.S.,
Lopaev D.V.,
Proshina O.V.,
Rakhimova T.V.,
Rakhimov A.T.,
Vasilieva A.N.,
Voloshin D.G.
-
Сборник:
Proceedings of International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC 19), July 27-31 2009, Bochum, Germany
-
Год издания:
2009
-
Место издания:
Bochum, Germany
-
Первая страница:
39
-
Добавил в систему:
Лопаев Дмитрий Викторович